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单晶硅炉上面共需要四个轴驱动，其中2个使用的是伺服控制系统，另外2个使用的是直流驱动装置实现；该设备根据工艺需要，设备分为炉架、主炉室、副室、提拉旋转机构，下随动机构及液压提升机构、真空及气路系统、水冷系统、光学测量系统、电加热和运动控制系统及计算机控制系统等诸多机构。通过系统优化，实现高科技产品的集成。其次设备采用了许多较新的机构。如上提拉旋转机构，通过花键轴配绕丝轮结合电刷环，在很小的体积上实现了稳定提拉和旋转，满足工艺需求且降低了设备高度，再有下随动机构设备采用精密滚珠丝杠配合坩埚的磁流体密封，运动保持部件置于真空室外，实现精密运动与真空密封的完美结合，使用稳定可靠，还有液压提升机构对副室翻板阀的保持采用无自锁，炉内有漏硅等压力骤增的紧急情况可以实现自动泄压提高了设备的安全可靠性等等。在电器控制上设备采用可编程操作，代替了传统的逻辑编程继电器。电器控制系统由国产机大多采用的单片机，提升到IRCON和CCD工控自动化控制三个类型，提高了设备的自动化控制水平。
有控制方案中伺服控制系统存在如下问题：1、伺服控制器的编码器输出管角经常性的损坏；2、伺服电机的输出轴端经常出现断裂的情况；3、伺服控制器的输入输出点需要DC24V和DC12V的开关电源共计4个；
100W ASD-A2-0121-L A2 100W單伺服驅動器，全閉環
ASD-B2-0121-B B2 100W驱动
ECMA-C10401ES 100W A2 键槽 20Bit
ECMA-C20401ES 100W B2 键槽
ECMA-C20401FS 100W B2 键槽 刹车
"
200w" ASD-A2-0221-L A2 200W單伺服驅動器，全閉環
ASD-B2-0221-B B2 200W驱动
ECMA-C10602ES 200W A2 键槽
ECMA-C10602PS 200W A2 键槽 中心螺纹孔
ECMA-C10602FS 200W A2 键槽 刹车
ECMA-C10602GS 200W A2 键槽 油封
ECMA-C20602ES 200W B2 键槽
ECMA-C20602GS 200W B2 键槽 油封
ECMA-C20602FS 200W B2 键槽 刹车
"
400w" ASD-A2-0421-L A2 400W單伺服驅動器，全閉環
ASD-B2-0421-B B2 400W驱动
ECMA-C10604ES 400W A2 键槽
ECMA-C10604FS 400W A2 刹车
ECMA-C10604GS 400W A2 油封
ECMA-E11305ES 500W A2 键槽
ECMA-C20604PS 400W B2 键槽 中心螺纹孔
ECMA-CM0604PS 400W 键槽 中心螺纹孔 磁编码器
ECMA-C20604GS 400W B2 键槽 油封
ECMA-C20604RS 400W B2 键槽 中心螺纹孔 油封
ECMA-C20604EC 400W B2 键槽 3米延长线
ECMA-C20604HS 400W B2 键槽 刹车 油封
ECMA-C20804E7 400W B2 80框 键槽
ECMA-C20804EC 400W B2 80框 键槽 3米延长线
ECMA-C20804F7 400W B2 80框 键槽 刹车
ECMA-C20804G7 400W B2 80框 键槽 油封
ECMA-C20804P7 400W B2 80框 键槽 中心螺纹孔
ECMA-C20604FS 400W B2 键槽 刹车
"
750w" ASD-A2-0721-L A2 750W單伺服驅動器，全閉環
ASD-B2-0721-B B2 750W驱动
ECMA-C10807ES 750W A2 键槽
ECMA-C10807FS 750W A2 键槽 刹车
ECMA-C10807HS 750W A2 键槽 刹车+油封
ECMA-C10807GS 750W A2 键槽+油封
ECMA-C20807PS 750W B2 键槽 中心螺纹孔
ECMA-C20807GS 750W B2 键槽 油封
ECMA-C20807RS 750W B2 键槽 油封 带中心螺纹孔
ECMA-C20807FS 750W B2 键槽 刹车
ECMA-C20807HS 750W B2 键槽 刹车 油封
ECMA-C20807P6 750W B2 键槽 轴径16
ECMA-CM0807P6 750W B2 键槽 轴径16 磁编码器
ECMA-C20807R6 750W B2 键槽 轴径16 油封
ECMA-C20807P7 750W B2 键槽 轴径14
ECMA-C20807EC 750W B2 键槽 3米延长线
ECMA-C20807GC 750W B2 键槽 3米延长线 油封
ECMA-GM1306PS 600W 键槽 中心螺纹孔 磁编码器
ECMA-G21306ES 600W 大惯量 中心螺纹孔
"B2
1KW" ASD-A2-1021-L A2 1KW單伺服驅動器，全閉環
ASD-B2-1021-B B2 1KW驱动
ECMA-C10910PS A2 低惯量,1KW,键槽,86框号
ECMA-C10910RC A2 低惯量,1KW,键槽,86框号,油封+3米延长线
ECMA-C10910QS A2 低惯量,1KW,键槽,86框号,刹车
ECMA-C10910RS A2 低惯量,1KW,键槽,86框号,油封
ECMA-C11010ES 1KW A2 100框 键槽
ECMA-C11010GS 1KW A2 100框 键槽+油封
ECMA-C11010FS 1KW A2 100框 键槽 刹车
ECMA-E11310ES 1KW A2 键槽
ECMA-E11310FS 1KW A2 键槽 刹车
ECMA-E11310GS 1KW A2 键槽 油封
ECMA-F11308ES 850W马达
ECMA-GM1309PS 900W 键槽 中心螺纹孔 磁编码器
ECMA-C21010PS 1KW B2 100框 键槽 中心螺纹孔
ECMA-C21010GS 1KW B2 100框 键槽+油封
ECMA-C21010RS 1KW B2 100框 键槽中心螺纹孔+油封
ECMA-C21010FS 1KW B2 100框 键槽 刹车
ECMA-G21309PS 900W 大惯量 中心螺纹孔
ECMA-E21310PS 1KW B2 键槽 中心螺纹孔
ECMA-EM1310PS 1KW 键槽 中心螺纹孔 磁编码器
ECMA-E21310GS 1KW B2 键槽 油封
ECMA-E21310FS 1KW B2 键槽 刹车
1.5KW:
ASD-A2-1521-L A2 1.5KW單伺服驅動器，全閉環
ASD-B2-1521-B B2 1.5KW驱动
ECMA-E11315ES 1.5KW A2 键槽
ECMA-E11315FS 1.5KW A2 键槽 刹车
ECMA-E11315GS 1.5KW A2 键槽 油封
ECMA-E21315PS 1.5KW B2 键槽 中心螺纹孔
ECMA-EM1315PS 1.5KW 键槽 中心螺纹孔 磁编码器
ECMA-E21315GS 1.5KW B2 键槽 油封
ECMA-E21315RS 1.5KW B2 键槽 油封+中心螺紋孔
ECMA-E21315FS 1.5KW B2 键槽 刹车
2KW:
ASD-A2-2023-L A2 2KW單伺服驅動器，全閉環
ASD-B2-2023-B B2 2KW驱动
ECMA-C11020ES 2KW A2 100框 键槽
ECMA-E11320AS 2KW A2 130框 圓軸
ECMA-E11320ES 2KW A2 130框 键槽
ECMA-E11320FS 2KW A2 130框 键槽 刹车
ECMA-E11320GS 2KW A2 130框 键槽 油封
ECMA-E11820PS 2KW A2 180框 键槽+中心螺紋孔
ECMA-E11820QS 2KW A2 180框 键槽 刹车+中心螺紋孔
ECMA-E11820AS 2KW A2 180框 圓軸
ECMA-C21020PS 2KW B2 100框 键槽 中心螺纹孔
ECMA-C21020FS 2KW B2 100框 键槽 刹车
ECMA-E21320PS 2KW B2 130框 键槽 中心螺纹孔
ECMA-E21320GS 2KW B2 130框 键槽+油封
ECMA-E21320RS 2KW B2 130框 键槽 油封+中心螺紋孔
ECMA-E21320FS 2KW B2 130框 键槽 刹車
ECMA-E21820QS 2KW B2 180框 键槽 刹車+中心螺纹孔
ECMA-E21820PS 2KW B2 180框 键槽 中心螺紋孔
3KW:
ASD-A2-3023-L A2 3KW單伺服驅動器，全閉環
ASD-B2-3023-B B2 3KW驱动
ECMA-E11830PS 3KW A2 180框 键槽+中心螺紋孔
ECMA-F11830PS 3KW A2 键槽 中心螺纹孔
ECMA-F11830QS 3KW A2 键槽 中心螺纹孔+刹车
ECMA-E11830QS 3KW A2 180框 键槽 刹车+中心螺紋孔
ECMA-F11830RS 3KW A2 键槽 中心螺纹孔+油封
ECMA-F21830PS 3KW B2 键槽 中心螺纹孔
ECMA-F21830QS 3KW B2 键槽 中心螺纹孔+刹车
ECMA-F21830SS 3KW B2 键槽 中心螺纹孔+刹车+油封
ECMA-F21830CS 3KW B2 圆轴+油封
ECMA-F21830DS 3KW B2 圆轴 刹车+油封
ECMA-E21830PS 3KW 180框 B2 键槽 中心螺纹孔
ECMA-E21830RS 3KW 180框 B2 键槽 油封+中心螺纹孔
ECMA-E21830QS 3KW 180框 B2 键槽 刹车+中心螺纹孔
